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https://texercises.com/exercise/gleichstromlehre-strom-und-spannung-19/
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Exercise:
Ein Siliziumwafer von mm Durchmesser soll mit Phosphor dotiert werden. Ein Ionen-Implanter erzeuge einen Strahl einfach geladener Phosphorionen mit eV kinetischer Energie und mA elektrischer Stromstärke. % Daten nach https://www.tf.uni-kiel.de/matwis/amat/elmat_en/kap_/backbone/r__.html . April a Wie lange dauert es bis eine homogene Dotierungsdichte von .eeesicm^- über den Wafer erreicht ist? b Mit welcher Leistung wird der Wafer durch den Ionenstrahl geheizt?

Solution:
% . . Lie. * &texta N rho A tfracpid^ rho quad land quad N fracQe fracIte Rightarrow &quad t fracpi d^ rho eI fracpi .sim^ .eee/.sim^ .eesiC eesiA uuline.sis &textb P E_fracDelta NDelta t E_ fracDelta QeDelta t fracE_ Ie fracsiehspac.mm/ V eesiAehspac.mm/ uuline.siW * newpage
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\(\LaTeX\)-Code
Exercise:
Ein Siliziumwafer von mm Durchmesser soll mit Phosphor dotiert werden. Ein Ionen-Implanter erzeuge einen Strahl einfach geladener Phosphorionen mit eV kinetischer Energie und mA elektrischer Stromstärke. % Daten nach https://www.tf.uni-kiel.de/matwis/amat/elmat_en/kap_/backbone/r__.html . April a Wie lange dauert es bis eine homogene Dotierungsdichte von .eeesicm^- über den Wafer erreicht ist? b Mit welcher Leistung wird der Wafer durch den Ionenstrahl geheizt?

Solution:
% . . Lie. * &texta N rho A tfracpid^ rho quad land quad N fracQe fracIte Rightarrow &quad t fracpi d^ rho eI fracpi .sim^ .eee/.sim^ .eesiC eesiA uuline.sis &textb P E_fracDelta NDelta t E_ fracDelta QeDelta t fracE_ Ie fracsiehspac.mm/ V eesiAehspac.mm/ uuline.siW * newpage
Contained in these collections:

Attributes & Decorations
Tags
PhosphImplant
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Difficulty
(1, default)
Points
0 (default)
Language
GER (Deutsch)
Type
Calculative / Quantity
Creator Lie
Decoration
File
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